一、技術(shù)背景　　1.真空技術(shù)為工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究提供了極其干凈的工作環(huán)境，目前，已成為眾多高新科技產(chǎn)業(yè)(如太陽能電池、光電子器件、固體照明、液晶顯示屏和背光源、磁控濺射、離子鍍、CVD、ITO玻璃、低輻射玻璃、稀土材料熔煉等)，以及現(xiàn)代科學(xué)研究(如高能加速器、等離子體、可控核聚變、重離子儲存環(huán)、電子對撞機和宇宙仿真等)的技術(shù)基礎(chǔ)。

　　2.真空范圍十分寬廣，通常分為低真空、中真空和高真空三部分，分別由不同的真空泵抽氣。

　　3.“清潔真空”是獲得高質(zhì)量產(chǎn)品和精確科學(xué)研究結(jié)果的基本保障，是真空科技領(lǐng)域中頭等重要的關(guān)鍵技術(shù)。目前，中真空是唯一尚未攻克該項關(guān)鍵技術(shù)的區(qū)域。

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　　4.常用中、高真空泵有如下3種：

　　◆羅茨泵　羅茨泵是真空泵的主流泵種，市場占有率90%。然而，該泵能耗高，抽速1，000L/s的羅茨泵能耗11kW，而且有油蒸汽污染，影響了真空環(huán)境和產(chǎn)品質(zhì)量。羅茨泵的這些缺點是真空技術(shù)中迫切希望解決，但至今尚未攻克的難題。

　　◆油擴散泵油擴散泵是目前我國應(yīng)用最廣的高真空泵，市場占有率超過80%。該泵不僅能耗高，抽速6，000L/s的油擴散泵能耗約6kW，而且油蒸汽污染嚴(yán)重，嚴(yán)重制約了我國真空產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

　　◆分子泵　　分子泵節(jié)能顯著、能獲得清潔真空，是當(dāng)今高真空技術(shù)的主要發(fā)展方向。目前，在發(fā)達(dá)國家市場的占有率已超過60%。然而，該泵結(jié)構(gòu)復(fù)雜、價格昂貴(抽速1，000L/s的國產(chǎn)分子泵售價約4萬元，進(jìn)口泵約25萬元)、排氣流量小、易于損壞，我國市場的占有率10%。

　　羅茨泵和油擴散泵是目前我國真空產(chǎn)業(yè)的中流砥柱，社會總擁有量超過20萬臺(其中1/3在珠江三角洲地區(qū))，用電總功率達(dá)180萬kW，年消耗電能140億度，相當(dāng)于深圳大亞灣核電站的全年發(fā)電總量，真空產(chǎn)業(yè)已成為我國的用電大戶之一。

　　二、分子/增壓泵簡介　　分子/增壓泵如圖1所示，是深圳大學(xué)儲繼國教授二十多年來從事分子泵理論研究取得的一項重大科技果。該泵的科研樣機曾入選首屆《中國國際高新技術(shù)成果交易會》的重點推介項目。分子/增壓泵從理論創(chuàng)立，到結(jié)構(gòu)發(fā)明，均由我國首創(chuàng)，屬于典型的原創(chuàng)性科技成果?！　》肿?增壓泵的問世，開創(chuàng)了多項世界第一：　

? ? 　◆第一臺兼有中、高真空雙重性能的真空泵。

　　◆第一臺能連續(xù)運行的清潔機械中真空泵。

　　◆能耗最低的中真空泵(僅為羅茨泵的10%)。

　　◆體積最小，重量最輕的中真空泵(不到羅茨泵的10%)。

　　◆結(jié)構(gòu)簡單，轉(zhuǎn)子全部由平圓盤構(gòu)成，無任何葉片，能承受大氣沖擊，不易損壞。分子/增壓泵的轉(zhuǎn)子與傳統(tǒng)渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子比較，然而，分子/增壓泵轉(zhuǎn)速高達(dá)20，000～30，000轉(zhuǎn)/分，加上采用臥式結(jié)構(gòu)，制造工藝十分復(fù)雜。是我國一直未能攻克的技術(shù)、工藝難關(guān)。深圳市摩爾真空技術(shù)有限公司與深圳大學(xué)合作，經(jīng)過多年拼搏、不懈努力，于2005年，終于研制成產(chǎn)品樣泵，現(xiàn)已批量生產(chǎn)。

　　三、主要應(yīng)用領(lǐng)域　　

? ? ? 1.大型磁控濺射、離子鍍和CVD鍍膜設(shè)備

　　◆對象：Φ1，000×1，500磁控濺射鍍膜設(shè)備。

　　◆內(nèi)容：用2臺MB200分子/增壓泵(1，600L/s)+1臺2X-15旋片泵(15L/s)，取代1臺K-400油擴散泵(6，000L/s)+1臺J-300羅茨泵(300L/s)+1臺2X-70旋片泵(70L/s)。

　　◆費用：新設(shè)備增加6萬元，舊設(shè)備改造增加9萬元。

　　◆經(jīng)濟效益：　　

? ? ?1)節(jié)能。抽氣能耗比傳統(tǒng)設(shè)備降低90%。每個鍍膜周期節(jié)電15度，年節(jié)電10萬度。10個月節(jié)約的電費可收回新增設(shè)備費用?！　?/p>

? ? ?2)消除油蒸汽污染，鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量顯著提高?！　?/p>

? ? ?2.稀土永磁材料真空熔煉爐

　　◆對象：Φ800×1，200真空熔煉爐。

　　◆內(nèi)容：用MB200分子/增壓泵+2X-8旋片泵，取代Z-320油增壓泵+2X-70旋片泵。

　　◆費用：新設(shè)備增加3.5萬元。舊設(shè)備改造增加5萬元。

　　◆經(jīng)濟效益

　　1)節(jié)能。抽氣能耗比傳統(tǒng)熔煉爐降低90%。每爐熔煉節(jié)電15度，年節(jié)電6萬度。8個月節(jié)約的電費可收回新增設(shè)備費用。

　　2)縮短抽氣時間，提高生產(chǎn)效率。熔煉爐的壓強與時間關(guān)系如圖4所示，實線和虛線分別為分子/增壓泵和傳統(tǒng)方法的抽氣曲線。采用分子/增壓泵，抽氣時間由40分鐘降至22分鐘，生產(chǎn)效率提高20%。

　　3)消除油蒸汽污染，熔煉產(chǎn)品質(zhì)量提高。