羅茨真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵。其結(jié)構(gòu)形式是由羅茨鼓風(fēng)機演變而來的。它于1944年首先出現(xiàn)于德國，是為適應(yīng)在10～1000Pa壓力范圍內(nèi)具有大抽速的真空熔煉系統(tǒng)而作為機械增壓泵使用?！　「鶕?jù)羅茨真空泵工作壓力范圍的不同，分為直排大氣的低真空羅茨泵；中真空羅茨泵(機械增壓泵)和高真空多級羅茨泵。國內(nèi)用量最多的為中真空羅茨泵。羅茨真空泵與其它油封式真空泵相比有以下特點：　　(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；　　(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動功率，從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；　　(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；　　(4)泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；　　(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；　　(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。羅茨真空泵近幾年在國內(nèi)外得到較快的發(fā)展。在冶煉、石油化工、電工、電子等行業(yè)得到