首先檢查真空容器所處狀態(tài)，處于真空下或者處于大氣中。決定了兩種啟動(dòng)真空設(shè)備的程序：第一種，真空下操作程序。第二種，大氣狀態(tài)下操作程序。

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注意：第一次啟動(dòng)要先打開ESP—A總控電源，總控電源上面三個(gè)燈表示三相電，三燈全亮表示正常。

1、如果容器處于低真空狀態(tài)下，不能立即打開閘板閥以免引起真空油的回流。正確的操作步驟是先打開水龍頭，然后打開機(jī)械泵(注：按下機(jī)械泵的啟動(dòng)鍵)，同時(shí)打開ZDF—IV真空計(jì)電源，觀察真空計(jì)讀數(shù)到達(dá)30Pa左右時(shí)，再打開分子泵(注：先按下FDK—600K總電源，然后按下啟動(dòng)鍵)，看到分子泵的工作頻率達(dá)到50Hz左右時(shí)方可打開閘板閥。

2、如果容器處于大氣下，首先要做的是檢查大漏，即關(guān)閉容器大門和放氣閥。然后打開水龍頭，閘板閥，機(jī)械泵，ZDF—IV真空計(jì)電源，觀察真空計(jì)讀數(shù)到達(dá)30Pa左右時(shí)，再打開分子泵(注：先按下FDK—600K總電源，然后按下啟動(dòng)鍵)。

3、等到分子泵正常工作后(工作頻率穩(wěn)定在450Hz)，按下真空計(jì)中電離計(jì)單元的啟動(dòng)鍵對(duì)真空度進(jìn)行觀測(cè)。

4、在真空達(dá)到5410~10??Pa時(shí)可以打開離子泵，此時(shí)先關(guān)閉分子泵處的閘板閥，但不要關(guān)閉分子泵，等到離子泵的電壓達(dá)到4000V時(shí)(離子泵穩(wěn)定工作后)再關(guān)掉分子泵，機(jī)械泵。

5、如果不需要維持真空時(shí)，先關(guān)掉真空計(jì)電源，后只需要把離子泵的閘板閥關(guān)閉即可，不關(guān)閉離子泵，而是讓離子泵處于工作狀態(tài)保持其內(nèi)部環(huán)境。(注意：烘烤與離子泵不能同時(shí)打開，烘烤的目的是為了讓離子泵更好的工作，需要時(shí)可先烘烤，關(guān)閉烘烤后在打開離子泵開關(guān)。一般不需要打開烘烤。)

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1檢查真空泵油位：1/2~~2/3，吸排氣管中要干凈，試機(jī)時(shí)要有很強(qiáng)的吸排氣壓力，

2檢查復(fù)合壓力表：表閥要好，管無破裂，以免漏氣，有頂針，有密封墊。

3接管：把藍(lán)色低壓管接到系統(tǒng)檢修口，把黃色管接到真空泵吸氣口，關(guān)高壓閥。

4抽真空：?jiǎn)?dòng)真空泵，打開低壓閥，抽真空時(shí)間一般30分鐘以上，當(dāng)系統(tǒng)真空度達(dá)到76cmhg（表壓）后，關(guān)閥關(guān)磅

5打壓：抱怨大于24小時(shí)，前6小時(shí)允許有2％的壓力變化，之后不允許有任何變化！