多級爪型真空泵的工作原理是什么?請中聯(lián)的朋友幫忙解答
時間:2014-09-08
多級爪型真空泵如圖3所示,它采用了形狀復雜的爪型轉子。這種泵也類似羅茨泵型式,兩個轉子與泵體之間形成泵腔的抽氣容積,吸氣口和排氣口是固定在上下端蓋的側面上,由轉子旋轉過程中自動開關。
? ? ? ? 多級爪型真空泵如圖3所示,它采用了形狀復雜的爪型轉子。這種泵也類似羅茨泵型式,兩個轉子與泵體之間形成泵腔的抽氣容積,吸氣口和排氣口是固定在上下端蓋的側面上,由轉子旋轉過程中自動開關。圖3爪型泵的工作原理沿軸向逆流少,如圖4所示。因此在高壓區(qū)它的壓縮比,比羅茨泵的壓縮比高,如圖5所示。圖4爪型真空泵圖5羅茨泵和爪型泵的壓縮比的比較由于這種泵的吸氣口和排氣口安置在泵腔的側壁上,多級連接起來很方便,氣道流暢,泵內腔壓力變化平緩,有利于防止可凝性氣體的凝結。
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? ? ? ? ?為了防止可凝性氣體在泵內的凝結,也要向泵腔內通凈化氣體。這種爪型泵極限壓力為1~10pa,抽速為100~180m3/h,有2~4級串聯(lián)的系列產品出售。