主要類型:?wlw系列立式無(wú)油真空泵w型往復(fù)式真空泵2x,2xz型旋片式真空泵zjh型羅茨真空泵2sk、sk型水環(huán)式真空泵2bv、2ba型水環(huán)式真空泵h、2h型滑閥真空泵、tlz型真空泵sl型羅茨鼓風(fēng)機(jī)jzjh2h型羅茨滑閥式真空機(jī)組jzjhba型羅茨水環(huán)真空機(jī)組jzjp型羅茨水噴射真空機(jī)組jzjhs型羅茨水環(huán)真空機(jī)組主真空泵的選擇計(jì)算:s=2.303v/tlog(p1/p2)其中:s為真空泵抽氣速率(l/s)v為真空室容積(l)t為達(dá)到要求真空度所需時(shí)間(s)p1為初始真空度(torr)p2為要求真空度(torr)真空泵性能參數(shù)真空泵種類工作壓強(qiáng)范圍(pa)起動(dòng)壓強(qiáng)(pa)活塞式真空泵1×105~1.3×1021×105旋片式真空泵1×105―6.7×10-11×105水環(huán)式真空泵1×105―2.7×1031×105羅茨真空泵1.3×103―1.31.3×103渦輪分子泵1.3―1.3×10-51.3水蒸氣噴射泵1×105―1.3×10-11×105油擴(kuò)散泵1.3×10-2―1.3×10-71.3×10油蒸氣噴射泵1.3×10―1.3×10-2<1.3×105分子篩吸附泵1×105―1.3×10-11×105濺射離子泵1.3×10-3―1.3×10-96.7×10-1鈦升華泵1.3×10-2―1.3×10-91.3×10-2鋯鋁吸氣劑泵1.3×10―1.3×10-111.3×10低溫泵1.3―1.3×10-111.3―1.3×10-1