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擴散泵工作原理

時間：2014-09-08

先由轉(zhuǎn)動真空泵把系統(tǒng)抽到10-2Pa擴散泵油被加熱沸騰，以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統(tǒng)內(nèi)氣體分子帶到泵的側(cè)臂彎管球泡處集結(jié)，待氣體密度達到機械真空泵的工作范圍而被抽出，從而逐漸獲得高真空。

先由轉(zhuǎn)動真空泵把系統(tǒng)抽到10-2Pa擴散泵油被加熱沸騰，以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統(tǒng)內(nèi)氣體分子帶到泵的側(cè)臂彎管球泡處集結(jié)，待氣體密度達到機械真空泵的工作范圍而被抽出，從而逐漸獲得高真空。擴散泵油在泵結(jié)構(gòu)一定和無漏氣的前提下，油擴散泵的抽氣特性和極限真空主要是看泵油的性能。

泵油種類很多，表為幾類主要泵油及其特性。擴散泵油被電爐加熱的時候，產(chǎn)生油蒸氣順著導(dǎo)流管經(jīng)過傘形噴嘴向下面噴出。因為噴嘴外面有機械泵提供的真空（Pa），故油蒸氣流可噴出一長段距離，構(gòu)成一個向出氣口方向運動的射流。射流最后碰上由冷卻水冷卻的泵壁凝結(jié)為液體流回蒸發(fā)器，即靠油的蒸發(fā)噴射凝結(jié)重復(fù)循環(huán)來實現(xiàn)抽氣。由進氣口進入泵內(nèi)的氣體分子一旦落入蒸氣流中便獲得向下運動的動量向下飛去。由于射流具有高流速（約200m/s），高的蒸氣密度，且擴散泵油分子量大（300～500），故能有效地帶走氣體分子。氣體分子被帶往出口處再由機械泵抽走。

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